鍍層厚度檢測儀的基本工作原理是當探頭接觸被測圖案時，探頭裝置產(chǎn)生的高頻電磁場使置于探頭下方的金屬導體產(chǎn)生渦流，其幅值和相位是導體和探頭之間非導電涂層厚度的函數(shù)。即渦流產(chǎn)生的交變電磁場會改變探頭的參數(shù)，而探頭的參數(shù)變量，通過轉(zhuǎn)換電信號可以得到涂層的厚度。
1、磁性測厚法：適用于導磁材料上非磁性層的測厚。導磁材料一般為鋼、銀、鎳。該方法測量精度高。
2、渦流測厚法：適用于導電金屬上非導電層的測厚。這種方法比磁性測厚方法具有更高的精度。
3、超聲波測厚：適用于多層鍍層厚度的測量或以上兩種方法無法測量的場合。
4、電解測厚法：此法與上述三種方法不同。不屬于無損檢測，需要破壞涂層。一般準確率不高。
5、輻射測厚法：這種儀器很貴，適用于一些特殊場合。
精度要求是鍍層厚度檢測儀不變的追求，以下這些就是影響它精度的因素：
1、當覆土厚度大于25μm時，誤差與覆土厚度近似成正比；
2、母材的電導率對測量有影響，與母材材料的成分及熱處理方法有關(guān)；
3、任何測厚儀都要求母材的臨界厚度。只有大于這個厚度，測量才不會受到母材厚度的影響；
4、測厚儀對圖案測量有邊緣效應，即靠近圖案邊緣或內(nèi)角測量不可靠
5、試樣的曲率對測量有影響，隨著曲率半徑的減小會顯著增大；
6、母材和鍍層的表面粗糙度影響測量精度，影響隨著粗糙度的增加而增大；
7、鍍層厚度檢測儀對阻礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物敏感。因此，測量前應清除探頭和覆蓋層表面的污垢；在測量過程中，保持探頭與測試表面恒壓垂直接觸。
更新時間：2021-11-20 
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