金屬膜厚儀性能優(yōu)勢：
1.精密的三維移動平臺
2.的樣品觀測系統(tǒng)
3.先進的圖像識別
4.輕松實現(xiàn)深槽樣品的檢測
5.四種微孔聚焦準(zhǔn)直器，自動切換
6.雙重保護措施，實現(xiàn)無縫防撞
7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度
優(yōu)勢：
全自動智能控制方式，一鍵式操作!
開機自動自檢、復(fù)位；
開蓋自動退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣；
關(guān)蓋推進樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動完成對焦；
直接點擊全景或局部景圖像選取測試點；
點擊軟件界面測試按鈕，自動完成測試并顯示結(jié)果。
技術(shù)指標(biāo)：
分析元素范圍：硫(S)～鈾(U)
同時檢測元素：zui多24個元素，多達5層鍍層
檢出限：可達2ppm，zui薄可測試0.005μm
分析含量：一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度：一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)
重復(fù)性：可達0.1%
穩(wěn)定性：可達0.1%
SDD探測器：分辨率低至135eV
先進的微孔準(zhǔn)直技術(shù)：zui小孔徑達0.1mm,zui小光斑達0.1mm
樣品觀察：配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準(zhǔn)直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合
儀器尺寸：690(W)x 575(D)x 660(H)mm
樣品室尺寸：520(W)x 395(D)x150(H)mm
樣品臺尺寸：393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平臺移動速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度：小于0.1um
操作環(huán)境濕度：≤90%
操作環(huán)境溫度：15℃～30℃
產(chǎn)品型號：Thick8000
更新時間：2022-03-04
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